| Titel | Fabrication and Tribological Investigation of Fullerence C60/C70 Reinforced Epoxy Resin SU-8 |
| Autor | F. Pape, L. Rissing, H.H. Gatzen |
| Infos zum Autor | F. Pape, L. Rissing, and H.H. Gatzen Institute for Micro Production Technology, Leibniz Universität Hannover, Center for Production Technology, An der Universitaet 2, 30823 Garbsen, Germany |
| Inhalt | Zusammenfassung Zur Gewährleistung der zuverlässigen Funktion von Mikroaktoren ist die Reduktion von Verschleiß an den Kontaktflächen von hoher Bedeutung. Ein Material zur Fertigung von Mikrosystemen ist das Epoxidharz SU-8, welches als Struktur- und Einbettungsmaterial dient. Ein Ansatz, die tribologischen Eigenschaften von SU-8 zu verbessern, ist die Einbettung von Fullerenen in die Epoxidharzmatrix. Für die Versuche wird eine Mischung von C60 und C70 Fullerenen eingesetzt. Die Fullerene sind agglomeriert. Um die Agglomerate zu zerkleinern werden diese mit Isopropanol in Suspension gebracht und durch Ultraschall behandelt. Die Suspension mit Isopropanol verhindert gleichzeitig, dass Nanopartikel in die Umgebung gelangen. Die Arbeit stellt die Ergebnisse der Härtemessungen und Verschleißversuche von ungefüllten und mit Fullerenen gefüllten SU-8 Schichten vor. Abstract For a reliable function of micro actuators, minimizing wear at the mechanical interface is of considerable importance. This is particularly true, if organic materials are used at the interface, like the photosensitive epoxy resin SU-8, which is used quite often in Micro Electro-mechanical Systems (MEMS). One promising approach to improve the tribological properties of SU-8 is adding fullerenes. For the tests a combination of C60 and C70 fullernes were used. As delivered, the material agglomerates. To reduce the agglomerates size, the fullerenes were suspended in isopropanol by ultrasonically exication. The suspension also prevented the nanoparticles from escaping to the environment. The paper presents hardness and wear test results for unfilled and filled SU- films. |
| Datum | 2010 |
