| Titel | Integrierte SPM für Nano-Tribologische Charakterisierung der Oberflächen |
| Autor | N. Gitis, A. Minewitsch |
| Infos zum Autor | N. Gitis Center for Tribology Inc., 1715 Dell Ave., Campbell, CA 95008, USA, E-Mail: info@cetr.com A. Minewitsch TTZH Tribologie + Hochtechnologien e.K., Bärenhof 26A, D-30823 Garbsen, E-Mail: info@ttzh.de |
| Inhalt | Das neue quantitative Nano + Mikro - Tribometer mit integriertem SPM und optischem Mikroskop Imaging wurde zwecks Charakterisierung der zahlreichen physischen und mechanischen Eigenschaften der flüssigen sowie festen dünnen Filmen und Beschichtungen entwickelt. Das in-situ Monitoring ihrer Änderungen ist während der Mikro- und Nanoindentierung, des Scratchings, der oszillierenden, rotierenden und weiteren Tribologie - Tests durchgeführt worden. Sowohl die Werkstoffeigenschaften als auch die Oberflächentopographie können periodisch während der Tests bewertet werden. Die integrierte multi-sensing Tribo - Metrologie wird an zwei Beispielen gezeigt und zwar: Nanoindentierung der beschichteten Silizium Wafers und Mikro - Scratch Charakterisierung von diamantähnlichen Beschichtungen auf den magnetischen Datenträgern mittels desselben Gerätes. A novel quantitative nano+micro-tribometer with integrated SPM and optical microscope imaging has been developed to characterize numerous physical and mechanical properties of liquid and solid thin films and coatings, with in-situ monitoring their changes during micro and nano indentation, scratching, reciprocating, rotating and other tribology tests. Both the materials properties and surface topography can be assessed periodically during the tests. The integrated multi-sensing tribo-metrology is illustrated with two examples, of nano-indentation characterization of silicon wafer based coatings and micro-scratch characterization of diamond-like carbon coatings on magnetic media on the same instrument. |
| Datum | 2005 |
